所属分类:USC干式超声波除尘
3μm尘粒97%的清除率,6μm尘粒98%的清除率
超声波干式除尘设备(Ultrasonic Dry Cleaner),通过鼓风机,给除尘头的超声波发生腔提供8-16Kpa的洁净气体,气体通过超声波发生器产生超声波,利用超声波传播的能量及振动,使尘粒克服玻璃基板表面的粘附力,以拉升、滚动及滑动三种运动方式(单一或混合)从玻璃基板表面脱离,使得尘粒从玻璃基板表面分离出来。