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微波等离子清洗机提升芯片Die Bonding工艺可靠性

时间:2024年01月23日 信息来源:本站原创 点击: 加入收藏 】【 字体:

半导体芯片作为现代电子设备的核心组成部分,其质量和可靠性对整个电子行业至关重要。Die Bonding是将芯片装配到基板或者框架上去,基板或框架表面是否存在有机物污染和氧化膜,芯片背面硅晶体的浸润性等均会对粘接效果产生影响,传统的清洗方法已经无法满足对芯片质量的要求。使用微波PLASMA等离子清洗机处理芯片表面能有效地清洁并改善表面的浸润性,从而提升芯片粘接的效果。

芯片(1).jpg

*图源网络,侵删

微波是指频率在300MHz-300GHz之间的电磁波,波长约1mm-1m,具有机动性高、工作频宽大的特性,使用微波发生器配1.25KW电源产生微波将微波能量馈入等离子腔室内,使微波能量在低压环境下形成等离子体。

微波等离子清洗机采用了先进的等离子技术,能够在高温高压的环境下生成强大的等离子体。这种等离子体能够高效地清除芯片表面的有机和无机污染物,彻底消除芯片表面的杂质。相比传统的化学清洗方法,微波等离子清洗机不需要使用大量的有害化学物质,更加环保和安全。
微波等离子清洗机具有高度的自动化和智能化水平。通过先进的传感器和控制系统,清洗过程可以实时监测和调整,确保每一块芯片都能够得到精确的清洗。而且,微波等离子清洗机还可以根据芯片的不同材料和结构,自动调整清洗参数,最大限度地提高清洗效果和芯片的可靠性。

微波等离子清洗机还具有高效节能的特点。传统的清洗方法往往需要大量的水和能源消耗,而微波等离子清洗机则可以在短时间内完成清洗过程,大大节省了资源和成本。同时,微波等离子清洗机还可以循环利用清洗液,减少了废液的排放,对环境更加友好。

微波SPV-100MWR.jpg


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