接触角测量仪新标准
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晶圆接触角测量仪测试视频及效果-晟鼎精密仪器

时间:2018年11月02日 信息来源:本站原创 点击: 加入收藏 】【 字体:

    晶圆接触角测量仪采用先进的专用CCD数字摄像机,配倍高分辨率变焦式显微镜和高亮度LED背景光源系统,搭配三维样品台,可进行工作台上下、前后等方向移动。实现微量进样及上下、左右精密移动。同时还设计了伸缩杆结构工作台,能适应在不同用户材料厚度加大的场合。仪器框架可以根据式样的大小适量调节,扩大了仪器的使用范围。软件搭配修正功能,测试多次后的结果可以同时保存在同一报告下,能让用户更好的对材料数据进行管控。该仪器设计美观大方、操作简单、符合用户所需。

    晶圆表面分析检测测量系统、晶圆表面张力分析系统适用于半导体晶圆(Wafer)工艺的质量控制。提供晶圆(Wafers)表面的快速并准确的接触角/表面能分析,从而评估粘性,洁净度及镀膜。采用轻量化的设计、组装方便和最新的基于Windows标准的用户友好型软件,以创建一个即精准容又容易使用的接触角测量仪系统。注射滴液机制可以抬起便于装载,消除了对晶圆(Wafers)可能产生的损坏。用于晶圆表面分析,同时也可用于其它需要测量较大体积样件的分析应用。样件最大可允许 300 X 300 X 19mm。


    接触角测量仪主机及测试视频的操作视频及图片:


晶圆接触角测量仪.jpg

晶圆接触角测量仪调试过程.jpg

(1)主机使用高强度航空铝合金结构搭配模块化设计理念,自主研发的集成芯片电路控制,保证仪器以最佳状态运行;

(2)成像部分使用高性能日本原装进口工业机芯及无失真远心镜头确保最佳的成像效果。

(3)工业级可调LED单波长冷光源系统,成像更清晰

(4)自动位移平台,实现Y、Z自动定位测量,定点地位更精确,测量效率更高

规格:

主机外形尺寸:1200mm(长)*600mm(宽)* 670mm(高)                 主机净重:55KG

工作台面尺寸:420mm*420mm

工作台移动:自动,行程160mm,精度0.01mm;上下移动 手动,行程20mm,精度0.01mm

进样器移动:自动上下60mm(自动);  左右30mm

工业镜头:前后移动30mm(微调3mm),0.7X *-4.5X连续变倍变焦显微镜

CCD:SONY原装进口高速工业级芯片; 镜头角度可调试:仰视、平视、俯视多视角观察

光源:LED可调节蓝色基调工业级冷光源;使用寿命达贰万伍仟小时以上

电源及功率:220V / 60HZ

晶圆产品处理前WORD报告及测试图片:我们对样品进行十个点的测试,平均角度72.04度。


检测单位

SINDIN

试验日期

2018-10-09

操作人员

魏工

打印时间

14:36:02

固体试样

晶圆

液体试样

温度(℃)

25

湿度(%)

60

产品名称


物料号

12寸晶圆

备注


供应商名称

视涯

试验要求

未清洗前晶圆测试

最大角度

82.38

最小角度

67.48

平均角度

72.04

晶圆接触角测量仪测试视频及效果


晶圆接触角测量仪测试视频及效果

晶圆产品处理后WORD报告及测试图片:我们对样品进行十个点的测试后,再用等离子清洗机处理,平均角度16.58度。


检测单位

SINDIN

试验日期

2018-10-09

操作人员

魏工

打印时间

15:36:20

固体试样

晶圆

液体试样

温度(℃)

25

湿度(%)

60

产品名称


物料号

12寸晶圆

备注


供应商名称

视涯

试验要求

未清洗前晶圆测试

最大角度

25.65

最小角度

9.55

平均角度

16.58

晶圆接触角测量仪测试视频及效果


晶圆接触角测量仪测试视频及效果



标样校检报告:

仪器检验信息

仪器名称:

  接触角测量仪

检验时间:

2018.10.08


仪器型号:

 SDC-500

温    度:

27


仪器编号:

 SDCA1810001

湿    度:

68%


测试方法:

椭圆法及圆环法  基于大于等于20°使用椭圆法检测 小于20°用圆环法检测

校正信息

精度:

±1°







校准度数:

 3°  60°  120°   115°


校验标准:

标样  ---- 含德国TUV认证的检测报告





圆弧3°


圆弧60°

序号

标样数据(°)

检测数据(°)

误差(°)


序号

标样数据(°)

检测数据(°)

误差(°)

1

3

2.876

0.124


1

60

59.920

0.080

2

3

3.101

0.101


2

60

60.000

0.000

3

3

3.121

0.121


3

60

60.000

0.000

4

3

3.105

0.105


4

60

59.928

0.072   

5

3

2.839

0.161


5

60

60.652

0.652

圆弧120°


椭圆115°

序号

标样数据(°)

检测数据(°)

误差(°)


序号

标样数据(°)

检测数据(°)

误差(°)

1

120

120.100

0.100


1

115

115.146

0.146

2

120

120.082

0.082


2

115

114.910

0.090

3

120

120.000

0.000


3

115

115.120

0.120

4

120

120.170

0.170


4

115

115.027

0.027

5

120

119.875

0.125


5

115

115.159

0.159

测试平台移动确认:

合格


滴液精度:0.1μL

合格

测量范围:0-180°

合格


测量软件:

合格

测量精度:±0.1°

合格


测量重复性精度:±1°

合格

mapping功能

合格


外观部件:

合格

输出测量报告功能

合格


检测数据:

合格

                                   综合判定:合格



校检单位:东莞市晟鼎精密仪器有限公司


效验人员:赵卫                             主管:张新飞



晶圆系列接触角测量仪对于工艺的表面涂覆评估;

 表面污染物检测;

 表面亲疏性的研究;

 表面润湿性能的判断;

  涂覆均匀性检测;

  涂覆质量评估;

  表面清洁度检测;

  研究粘附性、润湿特性、粘接质量、表面处理;

  半导体晶片、硬盘、 平板显示器和生物材料等表面涂层的吸收研究。



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