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等离子清洗机
真空等离子清洗机
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真空等离子清洗机
真空等离子详情_03
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技术参数

    等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。


型号:真空等离子清洗机SPV200

深入表面 · 魅力科学

(1)晟鼎精密真空等离子清洗机产品简述

(1.1)等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是:

(A)对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

(B)激活键能,交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的键能在0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。

(C)形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。

 真空等离子清洗机

(1.2)真空等离子清洗的优势

等离子清洗作为重要的材料表面改性方法,已经在众多领域广泛使用。

(A)处理温度低

处理温度可以低至80℃、50℃以下,低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

(B)处理全程无污染

等离子清洗机本身是很环保的设备,处理过程不产生污染。

可以与原有生产流水线搭配,实现全自动在线生产,节约人力成本。

(C)处理效果稳定

等离子清洗的处理效果非常均匀稳定,常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

(D)可以处理各种形状的样品

对于复杂形状的样品,等离子清洗都能找到合适的解决方案。

真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。

(1.2)产品原理

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成,分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。

系统标准配件
设备尺寸1105W * 1488D * 1842Hmm (2158mm带信号灯高度)
水平极板8层
电极板402W * 450Dmm
气体流量控制器,2路工艺气体0-300ml/min
真空测量日本ulvac真空计
人机界面触摸屏SD自主研发
电极间距48mm
信号指示灯3色带警报
真空泵90m³/h双极油泵
系统电力&机械
电源:AC380V,50/60Hz额定功率5000W
系统重量(设备主机/真空泵)<600Kg
占地面积:设备主机1805(W)×1988(D)×1842(H) mm
射频电源
射频电源频率13.56MHz
射频电源功率1000W
射频电源匹配器全自动匹配,空气电容技术
设备必备条件
电源:AC380V,50/60Hz,三相五线7.5KVA
压缩空气要求无水无油CDA 60~90psig
抽风系统≥2立方/分钟,中央尾气处理管道即可
系统环境温度要求≤30℃(室温最佳)
工艺气体要求15~20psig  99.996%或以上纯度;


(A)控制单元:

控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

而控制单元又分为两个大的部分:

1)电源部分:主要电源频率有三种,分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要电源匹配器的,而2.45GHz又称为微波等离子。

2)系统控制单元:分三种,按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。

(B)真空腔体:

真空腔体主要是分为两种材质的:1)不锈钢真空腔体,2)石英腔体。

(C)真空泵:

真空泵种类较多,其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。

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(2)真空等离子清洗机应用范围

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