所属分类：快速退火炉
RTP-Table-6桌面型快速退火炉是在保护气氛下的桌面快速退火系统，以红外卤素灯管加热，精准控制升温，保证良好的重现性与温度均匀性，适用6寸快速退火制程。
RTP-Table-6为桌面式6英寸晶圆快速退火炉，使用上下两层红外卤素灯管作为热源加热内部石英腔体保温隔热，腔体外壳为水冷铝合金，使得制品加热均匀，且表面温度低。RTP-Table-6采用PID控制，系统能快速调节红外卤素灯管的输出功率，控温更加精准。
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